美国Teledyne API高浓度水冷臭氧发生器OG-5000

产品介绍

 

产品名称: Teledyne API高浓度水冷臭氧发生器OG-5000

型号系列:OG-5000

品牌:Teledyne API

产地:美国

价格:成交价格需联系客服

订货号:OG-5000

Teledyne API高浓度水冷臭氧发生器OG-5000概述:

 OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的，可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿法处理过程中。

OG-5000系列设计紧凑，使用水冷系统，能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。​​

Teledyne API高浓度水冷臭氧发生器OG-5000特征:

高纯度臭氧

高臭氧浓度

价格低

无消耗品

设计紧凑，模块化

经过验证的技术

Teledyne API高浓度水冷臭氧发生器OG-5000应用:

半导体

化学气相沉积 (CVD)

原子层沉积 (ALD)

氧化物生长

表面处理

粒子清洁

光刻胶去除

灰化

其他

Teledyne API高浓度水冷臭氧发生器OG-5000规格:

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